Катоды из ферромагнетиков в вакуумно-дуговых источниках плазмы

Abstract

Приведены результаты исследования особенностей работы вакуумно-дугового источника плазмы с магнитным управлением катодным пятном дуги при использовании в качестве катодного материала ферромагнитных материалов (Ni, Fe). Путём подбора токов в стабилизирующей и фокусирующей катушках с применением корректирующих ферромагнитных вставок (концентраторов) найдены напряжённость и геометрия распределения магнитных полей, которые обеспечивают надёжный поджиг дугового разряда в источнике, стабильное горение катодного пятна на рабочем торце катода и равномерную эрозию последнего.

Наведено результати досліджень особливостей роботи вакуумно-дугового джерела плазми з магнітним управлінням катодною плямою дуги при використанні феромагнетиків (Ni, Fe) в якості катодних матеріалів. Шляхом підбору струмів в стабілізуючій і фокусуючій котушках з використанням коректуючих феромагнітних уставок (концентраторів) виявлено напруженість і геометрію розподілу магнітних полів, які забезпечують надійний підпал дугового розряду в джерелі, стабільне горіння катодної плями на робочому торці катода й рівномірну його ерозію.

Results of research of operational features of a vacuum-arc plasma source with magnetically controlled cathode spot motion are submitted. Ferromagnetics (Ni, Fe) were used as cathode materials in plasma source investigated. Strength and geometry of magnetic fields distribution ensuring reliable ignition of the arc in the source, a stable burning of the cathode spot at the cathode working surface, and also its uniform erosion have been found by fitting of currents in the stabilizing and focusing coils and using the correcting ferromagnetic cores (concentrators).