Особенности изготовления дисков-оригиналов для систем лазерной записи информации

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorАтамась, В.А.
dc.contributor.authorКрючин, А.А.
dc.contributor.authorПетров, В.В.
dc.date.accessioned2013-10-28T00:20:22Z
dc.date.available2013-10-28T00:20:22Z
dc.date.issued2004
dc.description.abstractРассмотрен процесс нанесения на диски-оригиналы тонких пленок позитивного фоторезиста и подготовки дисков-оригиналов к записи информации. Приведены результаты анализа причин появления дефектов на пленках позитивного фоторезиста, проявляющихся в процессе записи информации.uk_UA
dc.description.abstractРозглянуто питання нанесення на диски-оригінали тонких плівок позитивного фоторезисту і підготовки дисків-оригіналів до запису інформації. Наведено результати аналізу причин появи дефектів на плівках позитивного фоторезисту, що проявляються в процесі запису інформації.uk_UA
dc.description.abstractA process of deposition on master disks of thin positive photoresist films and preparation of master disks for information recording is considered. The results of the analysis of causes of appearing defects on positive photoresist films which manifest themselves in the process of information recording are given.uk_UA
dc.description.sponsorshipАвторы выражают глубокую благодарность специалистам Института проблем регистрации информации НАН Украины: В.Н. Зенину, В.Д. Ковтуну, В.А. Заболотному, А.В. Ковальчуку, П.В. Майстренко, принимавшим участие в разработке технологического оборудования нанесения фоторезиста; Ю.А. Бородину, В.Н. Христину, осуществлявшим запись информации на дисках-оригиналах; также специалистам Института физики полупроводников П.А. Литвину и С.А. Костюкевичу, выполнявшим исследования поверхности дисков-оригиналов.uk_UA
dc.identifier.citationОсобенности изготовления дисков-оригиналов для систем лазерной записи информации / В.А. Атамась, А.А. Крючин, В.В. Петров // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2004. — Т. 6, № 3. — С. 19-24. — Бібліогр.: 8 назв. — pос.uk_UA
dc.identifier.issn1560-9189
dc.identifier.udc004.085.2
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/50687
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут проблем реєстрації інформації НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofРеєстрація, зберігання і обробка даних
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectФізичні основи, принципи та методи реєстрації данихuk_UA
dc.titleОсобенности изготовления дисков-оригиналов для систем лазерной записи информацииuk_UA
dc.title.alternativeОсобливості виготовлення дисків-оригіналів для систем лазерного запису інформаціїuk_UA
dc.title.alternativeFeatures of Manufacturing Master Disks for Laser Information Recording Systemsuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
02-Atamas.pdf
Розмір:
227.6 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Реєстрація, зберігання і обробка даних, 2004, № 3