Структура и свойства покрытий из Ti, Ti36Al, Ti/Al, полученных способом вакуумно-дугового испарения

Abstract

Получены покрытия из Ti, Ti36Al и Ti/Al толщиной 40… 140 мм на подложках из нержавеющей стали и поликора с использованием нефильтрованного вакуумно-дугового осаждения. Морфологию поверхности, поперечные изломы, микроструктуру, микротвердость и плотность конденсатов изучали в зависимости от электрического смещения подложки, температуры катода и и толщины субслоев в многослойных Ti/Al конденсатах. Результаты исследований показали существенное влияние указанных технологических параметров на структуру и свойства вакуумно-дуговых конденсатов.

Coatings of Ti, Ti36Al and Ti/Al of 40… 140 mm thickness were produced on substrates of stainless steel and polycor using a non-filtered vacuum-arc deposition. Morphology of surface, transverse fractures, microstructure, microhardness and density of condensates were studied depending on electric displacement of substrate, temperature of cathode and thickness of sublayers in multi-layer Ti/Al condensates. Results of investigations showed the significant effect of the mentioned technological parameters on structure and properties of vacuum-arc condensates.