Применение высокотеплопроводной керамики из нитрида алюминия в вакуумных электронных приборах СВЧ

Abstract

Проведен анализ свойств и характеристик керамических материалов, применяемых в электронных приборах СВЧ: корундовых керамик, керамики из оксида бериллия и керамики из нитрида алюминия. Показано, что по комплексу параметров, включающих конструкционные и функциональные характеристики, высокотеплопроводная керамика из нитрида алюминия превосходит все типы корундовой керамики и не уступает керамике из оксида бериллия, особенно при температурах выше 450°С. Приведены примеры преимущественного использования керамики из нитрида алюминия в вакуумных электронных приборах СВЧ-диапазона: ЛБВ и клистронах.

Проведено аналiз властивостей та характеристик керамiчних материалiв, якi застосовуються в електронних приладах НВЧ: корундових керамiк, керамiки з оксиду берилiя та керамiки з нiтриду алюмiнiю. Показано, що за комлексом параметрiв, якi складаються з конструкцiйних та функцiональних характеристик, високотеплопровiдна керамiка з нiтриду алюмiнiю має вищi якостi, нiж усi типи корундовоï керамiки, і не поступається кераміці з оксиду берилiя, особливо при температурах вище 450°С. Наведено приклади переважного застосування керамiки з нiтриду алюмiнiю в електронних приладах НВЧ-дiапазону: ЛБХ та клiстронах.

Analysis of properties and characteristics of the alumina, beryllium oxide and aluminum nitride based ceramic materials used in UHF electronic devices has been made. It was shown that the complex of parameters including structural and functional characteristics of the high-thermal conductive aluminum nitride ceramics prevail over all types of alumina ceramics and is not lower than the same characteristics of the beryllium oxide ceramics especially at the temperatures higher than 450 °C. The examples of the prevailing use of the aluminum nitride ceramics inside vacuum UHF-region devices: TWT’s and klystrons.