Влияние стехиометрии диоксида циркония на морфологию нанесенных на его поверх-ность тонких пленок благородных металлов после отжига

Abstract

Исследовано влияние стехиометрии диоксида циркония на строение нанесенных на его поверхность пленок благородных металлов (платины и палладия) при нагревании. Для этого пленки наносили на стехиометрический диоксид циркония (”белый“) и на полученный отжигом в вакууме нестехиометрический (”черный“). Затем образцы нагревали, строение пленок изменялось в обоих случаях. Однако на ”белом“ происходит фрагментация пленок, а на ”черном“ формируется новая фаза. Очевидно, благородные металлы реагируют с цирконием из подложек, при этом образуются интерметаллиды систем благородный металл—цирконий.

Досліджено вплив стехіометрії діоксиду цирконію на будову нанесених на його поверхню плівок благородних металів (платини та паладію) при нагріванні. Для цього плівки наносили на стехіометричний діоксид цирконію (“білий”) та на отриманий відпалом у вакуумі нестехіометричний (“чорний”). Потім зразки нагрівали, будова плівок змінювалась в обох випадках. Але на “білому” відбувається фрагментація плівок, а на “чорному” формується нова фаза. Очевидно, благородні метали реагують з цирконієм із підкладок, при цьому утворюються інтерметаліди систем благородний метал—цирконій.

The zirconia stoichiometry influence on structure of applied on its surface thin films of noble metals (platinum and palladium) at annealing was investigated. Films were applied on stoichiometric zirconia (“white”) and on obtained by annealing in vacuum non-stoichiometric (“black”). Samples were then heated, films structure transforms in both cases. But on “white” the fragmentation of films occurs, and on “black” new phase forms, obviously noble metals react to zirconium from substrate, intermetallides of noble metal—zirconium system forms.