Development and application of metal contacts on polycrystalline diamond films using combination of HF and arc plasma sources

dc.contributor.authorMuratov, R.M.
dc.contributor.authorVierovkin, A.A.
dc.contributor.authorKutny, V.E.
dc.contributor.authorNezovibat’ko, Yr.N.
dc.contributor.authorRybka, A.V.
dc.contributor.authorTaran, V.S.
dc.date.accessioned2015-05-22T18:25:23Z
dc.date.available2015-05-22T18:25:23Z
dc.date.issued2014
dc.description.abstractIn this paper, the technology of application of ohmic contacts using arc discharge assisted by HF field was developed for semiconductor radiation detectors production. Polycrystalline diamond material for production of detectors was synthesized by chemical vapor deposition method (CVD) in NSC KIPT. Bilayer contacts were deposited on polycrystalline CVD (pCVD) diamond films, where the first layer was chromium, and the second layer – copper or stainless steel respectively. Electro-physical characteristics of pCVD diamond detectors with different contact materials were studied.uk_UA
dc.description.abstractПредставлена технология нанесения омических контактов с помощью дугового разряда с ассистирован-ным ВЧ-полем для полупроводниковых датчиков ионизирующего излучения. Поликристаллический алмазный материал для производства детекторов был синтезирован методом химического осаждения из газовой фазы (CVD) в ННЦ ХФТИ. Двухслойные контакты наносились на pCVD-алмазные пленки, первый слой состоял из хрома, а второй – из меди или нержавеющей стали соответственно. Исследованы электрофизические характеристики детекторов на основе поликристаллического алмаза с разным материалом контактов.uk_UA
dc.description.abstractПредставлена технологія нанесення омічних контактів за допомогою дугового розряду з асистированим ВЧ-полем для напівпровідникових датчиків іонізуючого випромінювання. Полікристалічний алмазний матеріал для виробництва детекторів був синтезований методом хімічного осадження з парової фази (CVD) в ННЦ ХФТІ. Двошарові контакти наносилися на pCVD-алмазні плівки, перший шар був з хрому, а другий – з міді або нержавіючої сталі відповідно. Досліджено електрофізичні характеристики детекторів на основі полікристалічного алмазу з різним матеріалом контакту.uk_UA
dc.identifier.citationDevelopment and application of metal contacts on polycrystalline diamond films using combination of HF and arc plasma sources / R.M. Muratov, A.A. Vierovkin, V.E. Kutny, Yr.N. Nezovibat’ko, A.V. Rybka, V.S. Taran // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 6. — С. 233-236. — Бібліогр.: 4 назв. — англ.uk_UA
dc.identifier.issn1562-6016
dc.identifier.otherPACS: 52.77.-j, 52.77Dq
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/81960
dc.language.isoenuk_UA
dc.publisherНаціональний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofВопросы атомной науки и техники
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectНизкотемпературная плазма и плазменные технологииuk_UA
dc.titleDevelopment and application of metal contacts on polycrystalline diamond films using combination of HF and arc plasma sourcesuk_UA
dc.title.alternativeРазработка и нанесение металлических контактов на поликристаллические алмазные пленки с использованием комбинации ВЧ- и дугового плазменных источниковuk_UA
dc.title.alternativeРозробка й нанесення металевих контактів на полікристалічні алмазні плівки з використанням комбинації ВЧ- і дугового плазмових джерелuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Завантаження...
Ескіз
Назва:
60-Muratov.pdf
Розмір:
340.09 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Стаття

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Завантаження...
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис: