Технологические источники ионов на основе контрагированных разрядов

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorНикитинский, В.А.
dc.contributor.authorЖуравлев, Б.И.
dc.date.accessioned2014-01-14T23:09:08Z
dc.date.available2014-01-14T23:09:08Z
dc.date.issued2006
dc.description.abstractОбеспечивается создание ускоренных пучков ионов с токами до 0,6 А и энергиями до 5 кэВ с равномерным распределением плотности тока ионов в поперечном сечении пучков площадью от 10⁻⁴ до 0,2 м².uk_UA
dc.identifier.citationТехнологические источники ионов на основе контрагированных разрядов / В.А. Никитинский, Б.И. Журавлев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 4. — С. 55-58. — Бібліогр.: 18 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn2225-5818
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52974
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofТехнология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectТехнологические процессы и оборудованиеuk_UA
dc.titleТехнологические источники ионов на основе контрагированных разрядовuk_UA
dc.title.alternativeТехнологічні джерела іонів на основі контрагірованих розрядівuk_UA
dc.title.alternativeEngineering ion sources on basis contracting dischargesuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
14-Nikitinsky.pdf
Розмір:
115.98 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2006, № 4