Свойства металлических контактов на пленках TiO₂, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorБрус, В.В.
dc.contributor.authorКовалюк, З.Д.
dc.contributor.authorМарьянчук, П.Д.
dc.contributor.authorОрлецкий, И.Г.
dc.contributor.authorМайструк, Э.В.
dc.date.accessioned2013-12-22T01:21:36Z
dc.date.available2013-12-22T01:21:36Z
dc.date.issued2010
dc.description.abstractИсследованы вольт-амперные характеристики металлических контактов на тонких пленках диоксида титана, а также влияние отжига структур в вакууме на их электрические свойства.uk_UA
dc.description.abstractДосліджено вольт-амперні характеристики металевих кон тактів (Al, Cr, In, Mo, Ti) на тонких плівках діоксиду титану, а також вплив відпалу структур у вакуумі на їх електричні ластивості. Вимірювання ВАХ металевих контактів проодилися за допомогою трьохзондового методу. Встановлено, що контакт індію на тонких плівках TiO₂ відзначається чітко вираженими омічними властивостями.uk_UA
dc.description.abstractThe article deals with research on volt-ampere characteristics of metal contacts (Al, Cr, In, Mo, Ti) on titanium dioxide thin films and influence of annealing in vacuum on their electric properties. Volt-ampere characteristics measurements were taken by three-probe method. There was established that indium contact on TiO₂ thin films possessed sharply defined ohmic properties.uk_UA
dc.identifier.citationСвойства металлических контактов на пленках TiO₂, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления / В.В. Брус, З.Д. Ковалюк, П.Д. Марьянчук, И.Г. Орлецкий, Э.В. Майструк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 5-6. — С. 60-62. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn2225-5818
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51988
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofТехнология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectМатериалы электроникиuk_UA
dc.titleСвойства металлических контактов на пленках TiO₂, изготовленных методом реактивного магнетронного распыленияuk_UA
dc.title.alternativeВластивості металічних контактів на плівках TiO₂, виготовлених методом реактивного магнетронного розпиленняuk_UA
dc.title.alternativeThe properties of metal contacts on TiO₂ thin films produced by reactive magnetron sputteringuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
14-Brus.pdf
Розмір:
106.23 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2010, № 5-6