Особенности автоматизации диодных реакторных систем микротравления

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorБудянский, А.М.
dc.contributor.authorФареник, В.И.
dc.contributor.authorЯцков, А.П.
dc.date.accessioned2014-11-15T19:05:12Z
dc.date.available2014-11-15T19:05:12Z
dc.date.issued2001
dc.description.abstractПроведено изучение природы скачков интенсивности ВЧ-разряда, возникающих в цепи автоматических согласующих устройств генераторов при эксплуатации ВЧ газоразрядных систем. Показано, что наличие или отсутствие скачков в системе полностью определяется формой зависимости собственной емкости плазмы от приложенного к разряду ВЧ-напряжения. Показаны пути создания алгоритма настройки системы, исключающего возникновение скачков.uk_UA
dc.identifier.citationОсобенности автоматизации диодных реакторных систем микротравления / А.М. Будянский, В.И. Фареник, А.П. Яцков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 6. — С. 48-51. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn2225-5818
dc.identifier.udc539.23
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70896
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofТехнология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectНовое технологическое оборудование для микроэлектроникиuk_UA
dc.titleОсобенности автоматизации диодных реакторных систем микротравленияuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
14-Budiansky.pdf
Розмір:
119.66 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2001, № 6