Development of additional magnetron discharge in the drift region of an ion source with closed electron drift

Bordenjuk, I.V.; Panchenko, O.A.; Sologub, S.V.; Brown, I.G.

Development of additional magnetron discharge in the drift region of an ion source with closed electron drift

dc.contributor.author	Bordenjuk, I.V.
dc.contributor.author	Panchenko, O.A.
dc.contributor.author	Sologub, S.V.
dc.contributor.author	Brown, I.G.
dc.date.accessioned	2017-01-07T16:04:47Z
dc.date.available	2017-01-07T16:04:47Z
dc.date.issued	2008
dc.description.abstract	A gas discharge of the magnetron type which is formed in the beam drift region of an ion source with closed electron drift was investigated. The electric field due to the target bias potential results in the development of an additional gas discharge of the magnetron type in the drift region. Trajectories of electron beams emitted by the ion source were visualized using light emission from the working gas excited by the electrons.	uk_UA
dc.description.abstract	Досліджений газовий розряд магнетронного типу, який виникає в просторі дрейфу пучків іонного джерела з замкненим дрейфом електронів. Електричне поле, викликане плаваючим потенціалом мішені, може призводити до розвитку в дрейфовому просторі додаткового газового розряду магнетронного типу. За світінням збудженого електронами робочого газу візуалізовані траєкторії електронних пучків, емітованих іонним джерелом.	uk_UA
dc.description.abstract	Исследован газовый разряд магнетронного типа, возникающий в пространстве дрейфа пучков ионного источника с замкнутым электронным дрейфом. Электрическое поле, вызванное плавающим потенциалом мишени, приводит к развитию в дрейфовом пространстве дополнительного газового разряда магнетронного типа. По свечению возбужденного электронами рабочего газа визуализированы траектории электронных пучков, эмитированных ионным источником.	uk_UA
dc.identifier.citation	Development of additional magnetron discharge in the drift region of an ion source with closed electron drift / I.V. Bordenjuk, O.A. Panchenko, S.V. Sologub, I.G. Brown // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 6. — С. 168-170. — Бібліогр.: 5 назв. — англ.	uk_UA
dc.identifier.issn	1562-6016
dc.identifier.other	PACS: 52.50.Dg, 81.65.Cf
dc.identifier.uri	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/110979
dc.language.iso	en	uk_UA
dc.publisher	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Вопросы атомной науки и техники
dc.status	published earlier	uk_UA
dc.subject	Low temperature plasma and plasma technologies	uk_UA
dc.title	Development of additional magnetron discharge in the drift region of an ion source with closed electron drift	uk_UA
dc.title.alternative	Розвиток додаткового магнетронного розряду в просторі дрейфу іонного джерела з замкненим дрейфом електронів	uk_UA
dc.title.alternative	Развитие дополнительного магнетронного разряда в пространстве дрейфа ионного источника с замкнутым дрейфом электронов	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1

Назва:: 53-Bordenjuk.pdf
Розмір:: 1.4 MB
Формат:: Adobe Portable Document Format

Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1

Назва:: license.txt
Розмір:: 817 B
Формат:: Item-specific license agreed upon to submission
Опис:

Завантажити

Колекція

Вопросы атомной науки и техники, 2008, № 6