Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorКасимов, Ф.Д.
dc.contributor.authorЛютфалибекова, А.Э.
dc.date.accessioned2014-11-11T19:51:04Z
dc.date.available2014-11-11T19:51:04Z
dc.date.issued2002
dc.description.abstractПроведен математический расчет упругих механических напряжений в двухслойных структурах с отличающимися упругими постоянными пленки и подложки. Выведена формула, показывающая, что возникающие в пленке механические напряжения пропорциональны ее толщине и температуре осаждения и обратно пропорциональны толщине подложки.uk_UA
dc.identifier.citationРасчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах / Ф.Д. Касимов, А.Э. Лютфалибекова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 2. — С. 13-14. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn2225-5818
dc.identifier.udc621.382
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70736
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofТехнология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectПроектирование. Конструированиеuk_UA
dc.titleРасчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурахuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
04-Kasimov.pdf
Розмір:
77.75 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2002, № 2