Control of planar magnetron sputtering system operating modes by additional anode magnetic field

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorBizyukov, A.A.
dc.contributor.authorGirka, O.I.
dc.contributor.authorSereda, K.N.
dc.contributor.authorSleptsov, V.V.
dc.contributor.authorChunadra, A.G.
dc.date.accessioned2011-02-26T22:24:01Z
dc.date.available2011-02-26T22:24:01Z
dc.date.issued2010
dc.description.abstractThe control of planar magnetron sputtering system operating modes by additional anode magnetic field was investigated. It was shown that additional anode magnetic field substantially affects to planar magnetron-sputtering system (MSS) balancing and allows adjusting the electron fluxes intensity to the operating surface. It was experimentally shown that the magnetic field intensity increasing stabilizes the low-current discharge. The magnetic field intensity increasing prevents the discharge extinction by the ignition of semi-self-maintained magnetron-type discharge in transverse anode magnetic field.uk_UA
dc.description.sponsorshipThis work was supported in part by The Foundation of Development & Modernization of Scientific and Educational Equipment of V.N. Karazin Kharkiv National University, project #29-10.uk_UA
dc.identifier.citationControl of planar magnetron sputtering system operating modes by additional anode magnetic field / A.A. Bizyukov, O.I. Girka, K.N. Sereda, V.V. Sleptsov, A.G. Chunadra // Вопросы атомной науки и техники. — 2010. — № 6. — С. 144-146. — Бібліогр.: 3 назв. — англ.uk_UA
dc.identifier.issn1562-6016
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/17485
dc.language.isoenuk_UA
dc.publisherНаціональний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН Україниuk_UA
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectНизкотемпературная плазма и плазменные технологииuk_UA
dc.titleControl of planar magnetron sputtering system operating modes by additional anode magnetic fielduk_UA
dc.title.alternativeУправление режимами работы планарной магнетронной распылительной системы дополнительным прианодным магнитным полемuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
44-Bizyukov.pdf
Розмір:
281.41 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
929 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Вопросы атомной науки и техники, 2010, № 6