Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorДудкин, А.А.
dc.contributor.authorИнютин, А.В.
dc.contributor.authorОтвагин, А.В.
dc.date.accessioned2010-03-31T15:14:38Z
dc.date.available2010-03-31T15:14:38Z
dc.date.issued2008
dc.description.abstractРазработана параллельная реализация моделирования процессов фотолитографии для применения на суперкомпьютере СКИФ К-1000. Использование параллельных средств вычисления позволило получить хорошие результаты по ускорению процесса формирования изображения в слое фоторезиста и последующего автоматического контроля оригиналов топологии.uk_UA
dc.description.abstractРозроблена паралельна реалізація моделювання процесів фотолітографії для застосування на суперкомп’ютері СКІФ К-1000. Використання паралельних засобів обчислення дозволило одержати добрі результати з прискорення процесу формування зображення в шарі фоторезиста і подальшого автоматичного контролю оригіналів топології.uk_UA
dc.description.abstractThe parallel realization of modeling of photolithography processes was developed for application on supercomputer SKIF К-1000. Parallel means of calculation have allowed accelerating of image generation process in a photoresist layer and the subsequent automatic mask inspection.uk_UA
dc.identifier.citationМоделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000 / А.А. Дудкин, А.В. Инютин, А.В. Отвагин // Штучний інтелект. — 2008. — № 4. — С. 348-352. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn1561-5359
dc.identifier.udc535.317:004.22
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7477
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут проблем штучного інтелекту МОН України та НАН Україниuk_UA
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectРаспознавание образов. Системы цифровой обработки сигналов и изображенийuk_UA
dc.titleМоделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000uk_UA
dc.title.alternativeМоделювання процесів фотолітографії на суперкомп’ютері СКІФ К-1000uk_UA
dc.title.alternativeModelling of the Photolithography Processes on Supercomputer SKIF К-1000uk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
043-Dudkin.pdf
Розмір:
847.45 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
1.8 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Искусственный интеллект, 2008, № 4