Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния

Abstract

Робота присвячена вивченню механічних властивостей аморфних і нанокристалічних плівок Si та SiC, одержаних за різних режимів магнетронного розпилювання, і порівнянню цих характеристик з такими самими характеристиками їх монокристалічних аналогів. Установлено, що твердість і модуль пружності всіх аморфних а-SiC плівок завжди нижче, ніж у масивного α-SiC монокристала, в той час як твердість нанокристалічних SiC плівок вище, а модуль пружності нижче, ніж у монокристала. На відміну від SiC, твердість і модуль Юнга всіх аморфних Si плівок завжди менший, ніж у полікристалічної плівки і монокристала Si(111), для яких значення цих характеристик практично однакові.