Лазерные устройства для измерения геометрических параметров трехмерных объектов

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorИльин, В.Н.
dc.contributor.authorДубешко, А.В.
dc.contributor.authorМихаевич, Д.А.
dc.date.accessioned2013-12-20T20:40:47Z
dc.date.available2013-12-20T20:40:47Z
dc.date.issued2010
dc.description.abstractПредставлены базовые варианты многокоординатных устройств контроля сложных профилей поверхности, отличающиеся способом формирования зондирующего пучка, и принцип построения трехкоординатной системы измерения высоты и линейных размеров микросборок ПЗС.uk_UA
dc.description.abstractОписано метод вимірювання, представлено базові варіанти багатокоординатних пристроїв контролю складних профілів поверхні, що відрізняються способом формування зондуючого пучка. Розглянуто принцип побудови та конструкцію трьохкоординатної системи вимірювання висоти та лінійних розмірів мікроскладань ПЗС.uk_UA
dc.description.abstractThe article describes measuring method and presents basic varients of multi-coordinate devices for complicated surface shape control, with distinguishing method of sounding beam forming. The constructing principle and the construction of three-coordinate measuring system for height and linear dimensions of charge-coupled device are considered.uk_UA
dc.identifier.citationЛазерные устройства для измерения геометрических параметров трехмерных объектов / В.Н. Ильин, А.В. Дубешко, Д.А. Михаевич // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 3. — С. 13-16. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn2225-5818
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51947
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofТехнология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectЭлектронные средства: исследования, разработкиuk_UA
dc.titleЛазерные устройства для измерения геометрических параметров трехмерных объектовuk_UA
dc.title.alternativeЛазерні пристрої для виміру геометричних параметрів тривимірних об.єктівuk_UA
dc.title.alternativeLaser devices for geometric parameters measuring of three-dimensional objectsuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
04-Ilin.pdf
Розмір:
154.39 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2010, № 3