Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorВалиев, К.А.
dc.contributor.authorМаишев, Ю.П.
dc.contributor.authorШевчук, С.Л.
dc.date.accessioned2016-06-08T10:35:39Z
dc.date.available2016-06-08T10:35:39Z
dc.date.issued2003
dc.identifier.citationРеактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов / К.А. Валиев, Ю.П. Маишев, С.Л. Шевчук // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 27-33. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn1999-8074
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101835
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherНауковий фізико-технологічний центр МОН та НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofФизическая инженерия поверхности
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.titleРеактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электроновuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
04-Valiev.pdf
Розмір:
537.73 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Физическая инженерия поверхности, 2003, №1