Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния

Крапивко, Г.И.

Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния

dc.contributor.author	Крапивко, Г.И.
dc.date.accessioned	2014-01-22T22:07:08Z
dc.date.available	2014-01-22T22:07:08Z
dc.date.issued	2005
dc.description.abstract	Осуществлен метод лазерной обработки, основанный на эффективном изменении поверхности при текстурировании предварительно нагретого монокристалла кремния.	uk_UA
dc.identifier.citation	Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния / Г.И. Крапивко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре.— 2005.— № 2.— С. 53-55.— Бібліогр.: 11 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53555
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.status	published earlier	uk_UA
dc.subject	Технологические процессы и оборудование	uk_UA
dc.title	Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния	uk_UA
dc.title.alternative	Лазерне текстурування поверхні попередньо нагрітого монокристалу кремнію	uk_UA
dc.title.alternative	Laser chasing of surface a single crystal heated up preliminary of Si	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1

Назва:: 13-Krapivko.pdf
Розмір:: 122.47 KB
Формат:: Adobe Portable Document Format

Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1

Назва:: license.txt
Розмір:: 817 B
Формат:: Item-specific license agreed upon to submission
Опис:

Завантажити

Колекція

Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2005, № 2