The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorHladkovskiy, V.V.
dc.contributor.authorPolozov, B.P.
dc.contributor.authorFedorovich, O.A.
dc.date.accessioned2017-04-05T06:50:14Z
dc.date.available2017-04-05T06:50:14Z
dc.date.issued2016
dc.description.abstractIn this paper presents the research results of mass-spectroscopy of the RF discharge plasma in the controlled magnetic fields. The discharge was conducted in the gases containing halogens and mixtures with the oxygen. The evolution of the main plasma components from the oxygen content was investigated.uk_UA
dc.description.abstractПредставлены результаты масс-спектрометрических исследований плазмы ВЧ-разряда в управляемых магнитных полях. Разряд проводился в чистых галогенсодержащих газах и в смеси с кислородом. Исследована эволюция основных компонентов плазмы от содержания кислорода.uk_UA
dc.description.abstractПредставлено результати мас-спектрометричних досліджень плазми ВЧ-розряду в керованих магнітних полях. Розряд проводився в чистих галогеновмісних газах і в суміші з киснем. Досліджено еволюцію основних компонентів плазми від вмісту кисню.uk_UA
dc.identifier.citationThe qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry / V.V. Hladkovskiy, B.P. Polozov, O.A. Fedorovich // Вопросы атомной науки и техники. — 2016. — № 6. — С. 314-316. — Бібліогр.: 5 назв. — англ.uk_UA
dc.identifier.issn1562-6016
dc.identifier.otherPACS: 52.77.Bn, 81.65.Cf
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/115471
dc.language.isoenuk_UA
dc.publisherНаціональний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofВопросы атомной науки и техники
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectPlasma diagnosticsuk_UA
dc.titleThe qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometryuk_UA
dc.title.alternativeАнализ состава плазмы ВЧ-разряда методом масс-спектрометрииuk_UA
dc.title.alternativeАналіз складу плазми ВЧ-розряду методом мас-спектрометріїuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
77-Hladkovskiy.pdf
Розмір:
451.32 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Вопросы атомной науки и техники, 2016, № 6