Влияние среды отжига на формирование наноразмерных плёнок Co–Sb — функциональных термоэлектрических элементов

Abstract

Изучено влияние температуры подложки и среды отжига (вакуум или атмосфера азота) на формирования фазового состава и структуры наноразмерных плёнок CoSbх (30 нм) (1,8 ≤ х ≤ 4,2) с концентрацией Sb от 65 ат.% до 81 ат.%.

Вивчено вплив температури підкладинки та середовища відпалу (вакуум або атмосфера азоту) на формування фазового складу та структури нанорозмірних плівок CoSbх (30 нм) (1,8 ≤ х ≤ 4,2) з концентрацією Sb від 65 ат.% до 81 ат.%.

Effect of both the substrate temperature and the annealing atmosphere (vacuum or nitrogen atmosphere) on the formation of the phase composition and structures in nanoscale CoSbх films (30 nm) (1.8 ≤ х ≤ 4.2) with concentration of Sb from 65 at.% to 81 at.% is investigated.