Закономерности финишной алмазно-абразивной обработки монокристаллического карбида кремния

Abstract

В результате исследований закономерностей финишной алмазно-абразивной обработки монокристаллического карбида кремния на основе обобщенной модели образования и удаления частиц шлама и съема обрабатываемого материала показано, что использование в качестве критерия для оценки эффективности процесса обработки приведенной величины энергии переноса позволило обосновать целесообразность применения порошков карбида бора и диоксида титана для тонкого шлифования и порошков оксида хрома, оксида алюминия, диоксида церия и алмазных микропорошков АСМ 2/1 для супертонкого шлифования.

В результаті досліджень закономірностей фінішної алмазно-абразивної обробки монокристалічного карбіду кремнію на основі узагальненої моделі утворення та видалення частинок шламу і зняття оброблюваного матеріалу показано, що використання в якості критерію для оцінки ефективності процесу обробки приведеної величини енергії переносу дозволило обґрунтувати доцільність застосування порошків карбіду бору і двооксиду титану для тонкого шліфування та порошків оксиду хрому, оксиду алюмінію, двооксиду церію і алмазних мікропорошків АСМ 2/1 для надтонкого шліфування.

As a result of researches of laws of finishing diamond and abrasive processing of monocrystal carbide of silicon on the basis of the generalised model of formation and removal of slime particles and removal a processed material it is shown, that use as criterion for an estimation of efficiency of process of processing of the resulted size of energy of carrying over has allowed to prove expediency of application of powders of boron carbide and titanium dioxide for thin grinding and powders chrome oxide, aluminium oxide, ceric oxide and diamond micropowders АСМ 2/1 for superthin grinding.