Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния
| dc.contributor.author | Иванчиков, А.Э. | |
| dc.contributor.author | Кисель, А.М. | |
| dc.contributor.author | Медведева, А.Б. | |
| dc.contributor.author | Плебанович, В.И. | |
| dc.date.accessioned | 2013-12-30T23:11:32Z | |
| dc.date.available | 2013-12-30T23:11:32Z | |
| dc.date.issued | 2008 | |
| dc.description.abstract | Рассмотрены модель возникновения дефектов на поверхности поликристаллического кремния при обработке полупроводниковых пластин в травителе, а так-же модель удаления этих дефектов в растворах химикатов. | uk_UA |
| dc.identifier.citation | Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния / А.Э. Иванчиков, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 1. — С. 42-47. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. | uk_UA |
| dc.identifier.issn | 2225-5818 | |
| dc.identifier.uri | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52392 | |
| dc.language.iso | ru | uk_UA |
| dc.publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України | uk_UA |
| dc.relation.ispartof | Технология и конструирование в электронной аппаратуре | |
| dc.status | published earlier | uk_UA |
| dc.subject | Технологические процессы и оборудование | uk_UA |
| dc.title | Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния | uk_UA |
| dc.title.alternative | Методи видалення дефектів, що виникають при рідинному травленні поверхні полікристалічного кремнію | uk_UA |
| dc.title.alternative | Methods of removal of defects arising at liquid etching of polycrystalline silicon | uk_UA |
| dc.type | Article | uk_UA |
Файли
Оригінальний контейнер
1 - 1 з 1
Завантаження...
- Назва:
- 10-Ivanchikov.pdf
- Розмір:
- 175.51 KB
- Формат:
- Adobe Portable Document Format
Контейнер ліцензії
1 - 1 з 1
Завантаження...
- Назва:
- license.txt
- Розмір:
- 817 B
- Формат:
- Item-specific license agreed upon to submission
- Опис: