Математическая модель формирования силицидных пленок методом ионной бомбардировки при встречных потоках диффузантов к границам протекания реакции

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorВербицкий, В.Г.
dc.date.accessioned2010-03-01T16:28:56Z
dc.date.available2010-03-01T16:28:56Z
dc.date.issued2002
dc.description.abstractРассматриваются вопросы формирования пленочных структур силицидных материалов путем бомбардировки конденсата частично ионизированных компонентов потоком металла. Исследуются новые технологические подходы к изготовлению перспективной элементной базы вычислительной техники.uk_UA
dc.identifier.citationМатематическая модель формирования силицидных пленок методом ионной бомбардировки при встречных потоках диффузантов к границам протекания реакции / В.Г. Вербицкий // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. — 2002. — № 1. — С. 14-19. — Бібліогр.: 2 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn1817-9908
dc.identifier.udc681.3
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/6354
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН Україниuk_UA
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.titleМатематическая модель формирования силицидных пленок методом ионной бомбардировки при встречных потоках диффузантов к границам протекания реакцииuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
02-Verbitsky.pdf
Розмір:
215.83 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
1.82 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Комп’ютерні засоби, мережі та системи, 2002, № 1