Структурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorПрудников, А.М.
dc.contributor.authorШалаев, Р.В.
dc.contributor.authorЛинник, А.И.
dc.contributor.authorСироткин, В.В.
dc.contributor.authorПасько, М.И.
dc.date.accessioned2020-04-22T13:46:26Z
dc.date.available2020-04-22T13:46:26Z
dc.date.issued2017
dc.description.abstractПроведено исследование модификации наноструктуры пленок нитрида углерода CNx под влиянием термической обработки на воздухе. Показано, что кратковременная термообработка пленки вызывает травление кислородом аморфной фазы и формирование разделенной наноколонарной наноструктуры. Обнаружено, что предварительное ультрафиолетовое (УФ) облучение поверхности пленки перед термообработкой позволяет значительно увеличить концентрацию связанного азота в материале.uk_UA
dc.description.abstractThe modification of the nanostructure of carbon nitride films CNx under the influence of heat treatment on the air is investigated in the paper. It is shown that short heat treatment of film results in oxygen etching of amorphous phase and formation of separated nanocolumnar nanostructure. It is found that preliminary UV-irradiation of the film surface before the heat treatment can significantly increase the concentration of bounded nitrogen in the material.uk_UA
dc.identifier.citationСтруктурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработки / А.М. Прудников, Р.В. Шалаев, А.И. Линник, В.В. Сироткин, М.И. Пасько // Физика и техника высоких давлений. — 2017. — Т. 27, № 1. — С. 77-89. — Бібліогр.: 15 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn0868-5924
dc.identifier.otherPACS: 81.15.Cd, 61.46.–w
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/168126
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherДонецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofФизика и техника высоких давлений
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.titleСтруктурная модификация пленок нитрида углерода под влиянием термообработкиuk_UA
dc.title.alternativeStructural modification of the carbon nitride films under the influence of thermal treatmentuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
09-PrudnikovNEW.pdf
Розмір:
736.85 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Физика и техника высоких давлений, 2017, № 1