Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorПолтавцев, Ю.Г.
dc.contributor.authorВирченко, П.Т.
dc.contributor.authorКостюк, В.В.
dc.date.accessioned2014-11-11T15:18:18Z
dc.date.available2014-11-11T15:18:18Z
dc.date.issued2003
dc.description.abstractМетодом радиоактивных изотопов исследована десорбция катионов (Na¹⁺, Fe³⁺, Cu2⁺, Ag¹⁺) и атомов (Au) металлов и анионов S²⁻ и Cl¹⁻ с поверхности кремниевых пластин КДБ-10 ориентации (100) и (110) при их обработке при 70°С в перекисно-аммиачных растворах трех составов.uk_UA
dc.identifier.citationКинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах / Ю.Г. Полтавцев, П.Т. Вирченко, В.В. Костюк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 6. — С. 59-60. — Бібліогр.: 2 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn2225-5818
dc.identifier.udc621.382+681.3
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70725
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofТехнология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectИнтегральные схемы и полупроводниковые приборыuk_UA
dc.titleКинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворахuk_UA
dc.title.alternativeКінетика десорбційного очищення поверхні кремнієвих пластин в перекисно-аміачних розчинахuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
18-Polyavtsev.pdf
Розмір:
144.31 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2003, № 6