The low energy ribbon ion beam source and transport system

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorMasunov, E.S.
dc.contributor.authorPolozov, S.M.
dc.contributor.authorKulevoy, T.V.
dc.contributor.authorPershin, V.I.
dc.date.accessioned2015-03-22T09:03:47Z
dc.date.available2015-03-22T09:03:47Z
dc.date.issued2006
dc.description.abstractThe ribbon ion beam can be used in the commercial ion implanters in order to enlarge the beam current. The Bernas type ion source and periodical system of electrostatic lenses (electrostatic undulator) are proposed for high intensity ion implanter design. The ribbon ion source and transport system for such beam are discussed.uk_UA
dc.description.abstractЛенточные ионные пучки могут быть применены в коммерческих ионных имплантерах для увеличения тока пучка. Для создания сильноточного имплантора предлагается использовать ионный источник Берна и периодическую систему электростатических линз (электростатический ондулятор). Обсуждаются выбор источника ленточного ионного пучка и система его транспортировки.uk_UA
dc.description.abstractСтрічкові іонні пучки можуть бути застосовані в комерційних іонних імплантерах для збільшення струму пучка. Для створення потужнострумового імплантора пропонується використати іонне джерело Берна й періодичну систему електростатичних лінз (електростатичний ондулятор). Обговорюються вибір джерела стрічкового іонного пучка й система його транспортування.uk_UA
dc.description.sponsorshipThe work was supported by RFBR: Grant 04-02-16667.uk_UA
dc.identifier.citationThe low energy ribbon ion beam source and transport system / E.S. Masunov, S.M. Polozov, T.V. Kulevoy, V.I. Pershin // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 2. — С. 123-125. — Бібліогр.: 5 назв. — англ.uk_UA
dc.identifier.issn1562-6016
dc.identifier.otherPACS: 29.25.Ni, 61.72.Tt
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78872
dc.language.isoenuk_UA
dc.publisherНаціональний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofВопросы атомной науки и техники
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectЛинейные ускорители заряженных частицuk_UA
dc.titleThe low energy ribbon ion beam source and transport systemuk_UA
dc.title.alternativeИсточник и система транспортировки низкоэнергетического ленточного ионного пучкаuk_UA
dc.title.alternativeДжерело й система транспортування низькоенергетичного стрічкового іонного пучкаuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
41-Masunov.pdf
Розмір:
308.58 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Стаття
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Вопросы атомной науки и техники, 2006, № 2