Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorАксьонов, І.І.
dc.contributor.authorБілоус, В.А.
dc.date.accessioned2015-03-12T20:07:23Z
dc.date.available2015-03-12T20:07:23Z
dc.date.issued2000
dc.description.abstractНаведено стислий огляд розробок ННЦ ХФТІ, спрямованих на створення технологічного обладнання для осадження покриттів вакуумно-дуговим методом. Розроблюване обладнання мало бути адаптоване до умов індустріального виробництва, придатне для комерційного використання. Розглянуто результати розробок високоефективних торцевих джерел плазми, вакуумно-дугових випарювачів з протяглими (циліндричними та планарними) катодами, магнітні фільтри для очищення плазми від макрочасток, а також ряд установок для формування покриттів різного призначення.uk_UA
dc.identifier.citationВакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів / І.І. Аксьонов, В.А. Білоус // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 4. — С. 153-157. — Бібліогр.: 21 назв. — укр.uk_UA
dc.identifier.issn1562-6016
dc.identifier.udc546.25.-162
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78212
dc.language.isoukuk_UA
dc.publisherНаціональний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofВопросы атомной науки и техники
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectФизика радиационных и ионно-плазменных технологийuk_UA
dc.titleВакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттівuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
31-Aksyonov.pdf
Розмір:
602.16 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Вопросы атомной науки и техники, 2000, № 4