Принципы физической расшифровки изображений в сканирующей микроволновой микроскопии

Abstract

В работе численно исследуются приёмы построения изображений в СММ, обеспечивающие визуализацию профилей распределения физических параметров объекта в приповерхностной области. Показано, что изображение фундаментальных сигналов изменения резонансной частоты и добротности резонаторного сканирующего зонда далеко не всегда соответствуют профилю указанных параметров. Для обеспечения такого соответствия предлагается реконструировать изображение этих сигналов на основе аналитической аппроксимации соответствующих характеристик преобразования зонда и формирования оптимального пакета сигналов.

В роботі чисельно досліджуються прийоми побудови зображень в СММ, що забезпечують візуалізацію профілів розподілу фізичних параметрів об'єкта в приповерхневій області. Показано, що зображення фундаментальних сигналів зміни резонансної частоти і добротності резонатора скануючого зонда далеко не завжди відповідають профілю зазначених параметрів. Для забезпечення такої відповідності пропонується реконструювати зображення цих сигналів на основі аналітичної апроксимації відповідних характеристик перетворення зонда і формування оптимального пакету сигналів.

In the paper, the methods of constructing images in SMM are numerically studied, providing visualization of profiles of the distribution of physical parameters of an object in the near-surface region. It is shown that the image of the fundamental signals of the change in the resonant frequency and Q of the resonator scanning probe does not always correspond to the profile of the indicated parameters. To ensure such correspondence, it is proposed to reconstruct the image of these signals on the basis of an analytical approximation of the corresponding conversion characteristics of the probe and formation of the optimal signal packet.