Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС
dc.contributor.author | Осинский, В.И. | |
dc.contributor.author | Олексенко, П.Ф. | |
dc.contributor.author | Палагин, А.В. | |
dc.contributor.author | Зубарев, В.В. | |
dc.contributor.author | Луговский, В.В. | |
dc.contributor.author | Бондаренко, В.М. | |
dc.contributor.author | Николаенко, Ю.Е. | |
dc.contributor.author | Вербицкий, В.Г. | |
dc.contributor.author | Воронько, А.А. | |
dc.contributor.author | Бобженко, С.В. | |
dc.contributor.author | Мержвинский, А.А. | |
dc.date.accessioned | 2017-07-17T14:36:30Z | |
dc.date.available | 2017-07-17T14:36:30Z | |
dc.date.issued | 1999 | |
dc.description.abstract | Представлены результаты многолетних исследований авторов по применению газофазной, молекулярно-лучевой и комбинированной эпитаксии из газового источника. | uk_UA |
dc.description.abstract | The results of the authors long-standing researchs by the application of gas-phase, molecular-beam and mixed epitaxy from gas source. | uk_UA |
dc.identifier.citation | Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС / В.И. Осинский, П.Ф. Олексенко, А.В. Палагин, В.В. Зубарев, В.В. Луговский, В.М. Бондаренко, Ю.Е. Николаенко, В.Г. Вербицкий, А.А. Воронько, С.В. Бобженко, А.А. Мержвинский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 1. — С. 3-17. — Бібліогр.: 71 назв. — рос. | uk_UA |
dc.identifier.issn | 2225-5818 | |
dc.identifier.uri | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122680 | |
dc.language.iso | ru | uk_UA |
dc.publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України | uk_UA |
dc.relation.ispartof | Технология и конструирование в электронной аппаратуре | |
dc.status | published earlier | uk_UA |
dc.subject | Техническая политика | uk_UA |
dc.title | Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС | uk_UA |
dc.type | Article | uk_UA |
Файли
Оригінальний контейнер
1 - 1 з 1
Завантаження...
- Назва:
- 01-Osinsky.pdf
- Розмір:
- 390.01 KB
- Формат:
- Adobe Portable Document Format
Контейнер ліцензії
1 - 1 з 1
Завантаження...
- Назва:
- license.txt
- Розмір:
- 817 B
- Формат:
- Item-specific license agreed upon to submission
- Опис: