Прямолинейный сепаратор углеродной плазмы вакуумной дуги

Abstract

Проведены исследования работы прямолинейного сепаратора углеродной плазмы вакуумной дуги. Показано, что эффективность работы прямолинейного сепаратора зависит от формы катода, используемого в источнике плазмы. Величина ионного тока на выходе сепаратора составляет 1,4 А - для стандартного катода и 1,7 А - для профилированного катода при токе дуги 130 А. Скорость роста однородного по толщине титанового и алмазоподобного углеродного покрытий составила 4,8 и 3 мкм/ч, соответственно, на диаметре 18 см при использовании профилированного катода. Данные результаты по величине ионного тока в четыре раза, а по диаметру равнотолщинного покрытия на порядок величины превосходят результаты, полученные ранее для криволинейного сепаратора.

Проведено дослідження роботи прямолінійного сепаратора вуглецевої плазми вакуумної дуги. Показано, що ефективність роботи прямолінійного сепаратора залежить від форми катода, використовуваного в джерелі плазми. Розмір іонного струму на виході сепаратора складає 1,4 А - для стандартного катода і 1,7 А - для профілованого катода при струмі дуги 130 А. Швидкість росту однорідного по товщині титанового й алмазоподібного вуглецевого покриттів склала 4,8 і 3 мкм/годину, відповідно на діаметрі 18 см при використанні профілованого катода. Дані результати по величині іонного струму в чотири рази, а по діаметру рівнотовщинного покриття на порядок величини перевищують результати, отримані раніше для криволінійного сепаратора.

The researches of the rectilinear filter of a vacuum arc carbon plasma were carried out. It was shown that the effectiveness of the rectilinear filter depends on the cathode shape used in a plasma source. The value of an ion current at the filter output makes 1,4 A - for the standard cathode and 1,7 A - for the profiled cathode at the arc current of 130 А. The growth rate of the uniform thickness titanium and diamond-like carbon coatings has made 4,8 and 3 mm/h, accordingly, on a diameter of 18 сm under using of the profile cathode. The given results on the ion current value in twice, and on a diameter of the uniform thickness coating on the order of value surpass results received earlier for curvilinear filter.