Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorБойко, Ю.В.
dc.contributor.authorКузнецов, Г.В.
dc.contributor.authorСавицкий, С.М.
dc.contributor.authorТретяк, О.В.
dc.date.accessioned2014-01-07T19:17:54Z
dc.date.available2014-01-07T19:17:54Z
dc.date.issued2007
dc.description.abstractОписан автоматизированный спектрометр для исследования параметров примесных и дефектных глубоких центров, поверхностных состояний в полупроводниковых структурах методом релаксационной спектроскопии глубоких уровней.uk_UA
dc.identifier.citationАвтоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур / Ю.В. Бойко, Г.В. Кузнецов, С.М. Савицкий, О.В. Третяк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 59-61. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn2225-5818
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52818
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofТехнология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectТехнологические процессы и оборудованиеuk_UA
dc.titleАвтоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структурuk_UA
dc.title.alternativeАвтоматизований спектрометр глибоких рівнів для дослідження напівпровідникових структурuk_UA
dc.title.alternativeAutomated spectrometer of deep levels for research semiconducting structuresuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
15-Boiko.pdf
Розмір:
107.47 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2007, № 3