Микросборка на кремниевой плате для акселерометра
| dc.contributor.author | Спирин, В.Г. | |
| dc.date.accessioned | 2014-02-16T23:48:29Z | |
| dc.date.available | 2014-02-16T23:48:29Z | |
| dc.date.issued | 2013 | |
| dc.description.abstract | Рассмотрена конструкция и технология микросборки для акселерометра, выполненной на кремниевой плате с тремя уровнями коммутации и тонкопленочными резисторами на обеих ее поверхностях. | uk_UA |
| dc.description.abstract | Розглянуто конструкцію і технологію мікрозборки для акселерометра, виконаної на кремнієвій платі, з трьома рівнями комутації та тонкоплівковими резисторами на обох її поверхнях. | uk_UA |
| dc.description.abstract | The paper presents microassembly design and technology for accelerometer, carried out on a silicon plate with three commutation levels and thin film resistors on both of its surfaces. | uk_UA |
| dc.identifier.citation | Микросборка на кремниевой плате для акселерометра / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2013. — № 5. — С. 24-27. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. | uk_UA |
| dc.identifier.issn | 2225-5818 | |
| dc.identifier.udc | 621.3.049.776 | |
| dc.identifier.uri | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56366 | |
| dc.language.iso | ru | uk_UA |
| dc.publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України | uk_UA |
| dc.relation.ispartof | Технология и конструирование в электронной аппаратуре | |
| dc.status | published earlier | uk_UA |
| dc.subject | Функциональная микро- и наноэлектроника | uk_UA |
| dc.title | Микросборка на кремниевой плате для акселерометра | uk_UA |
| dc.title.alternative | Мікрозборка на кремнієвій платі для акселерометра | uk_UA |
| dc.title.alternative | Microassembly on silicon board for accelerometer | uk_UA |
| dc.type | Article | uk_UA |
Файли
Оригінальний контейнер
1 - 1 з 1
Контейнер ліцензії
1 - 1 з 1
Завантаження...
- Назва:
- license.txt
- Розмір:
- 817 B
- Формат:
- Item-specific license agreed upon to submission
- Опис: