Исследование влияния параметров потока плазмы на свойства формируемых покрытий

dc.contributor.authorАнтоненко, А.Л.
dc.date.accessioned2016-04-17T18:41:49Z
dc.date.available2016-04-17T18:41:49Z
dc.date.issued2006
dc.description.abstractПроведен анализ эффектов, связанных с бомбардировкой поверхности сложной формы частицами, в широко используемых плазменных процессах нанесения покрытий, объектом изучения которого является регулярная последовательность атомов, бомбардируемая извне под углом α относительно нормали к оси ряда. Рассмотрен процесс взаимодействия атомных частиц с поверхностями в области энергий бомбардирующих частиц порядка единиц или десятков электрон-вольт. Рассмотрены основные тенденции поведения величин, которые позволяют сделать предварительные выводы о превалирующих процессах на начальной стадии напыления покрытия на поверхность подложки.uk_UA
dc.description.abstractПроведений аналіз ефектів, зв’язаних з бомбардуванням поверхні складної форми частинками, у широко використовуваних плазмових процесах нанесення покриттів, об’єктом вивчення якого є регулярна послідовність атомів, яка бомбардується ззовні під кутом α щодо нормалі до осі ряду. Розглянуто процес взаємодії атомних частинок з поверхнями, що бомбардуються в області енергій порядку, одиниць або десятків електрон-вольт. Розглянуто основні тенденції поводження величин, що дозволяють зробити попередні висновки про переважаючі процеси на початковій стадії напилювання покриття на поверхню підкладинки.uk_UA
dc.description.abstractThe analysis of the effects connected to bombardment of a surface of the difficult form by particles, in widely used plasma processes of sputtering the coverings which object of studying is the regular sequence of atoms bombarded from the outside at a angle a concerning a normal to an axis of series. A process of interaction of atomic particles with surfaces in area energies bombarding particles of order from units to tens electron-volt is investigation. Are considered the basic tendencies of behaviour the values which allow to draw preliminary conclusions for prevailing processes at an initial stage sputtering coverings on a surface of a substrate.uk_UA
dc.identifier.citationИсследование влияния параметров потока плазмы на свойства формируемых покрытий / А.Л. Антоненко // Физическая инженерия поверхности. — 2006. — Т. 4, № 1-2. — С. 73–85. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn1999-8074
dc.identifier.udc539
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98784
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherНауковий фізико-технологічний центр МОН та НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofФизическая инженерия поверхности
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.titleИсследование влияния параметров потока плазмы на свойства формируемых покрытийuk_UA
dc.title.alternativeДослідження впливу параметрів потоку плазми на властивості формованих покриттівuk_UA
dc.title.alternativeResearch of influence of parameters of a stream of plasma on properties of formed coveringsuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Завантаження...
Ескіз
Назва:
9-Antonenko.pdf
Розмір:
626.46 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Завантаження...
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис: