The influence of a DC electric field on the radio-frequency microdischarge

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorBogatov, N.A.
dc.date.accessioned2015-04-04T19:47:23Z
dc.date.available2015-04-04T19:47:23Z
dc.date.issued2005
dc.description.abstractThe dependence of ionization frequency in a stationary radio-frequency microdischarge on plasma density and DC voltage applied to the discharge plasma is found. Calculation is fulfilled for a plane geometry in assumption of uniformity of radio-frequency electric field.uk_UA
dc.description.abstractРозрахована залежність частоти іонізації в стаціонарному високочастотному мікророзряді від концентрації плазми і постійної напруги, прикладеної до плазми розряду. Розрахунок виконаний для плоскої геометрії в припущенні однорідності високочастотного поля.uk_UA
dc.description.abstractРассчитана зависимость частоты ионизации в стационарном высокочастотном микроразряде от концентрации плазмы и постоянного напряжения, приложенного к плазме разряда. Расчет выполнен для плоской геометрии в предположении однородности высокочастотного поля.uk_UA
dc.identifier.citationThe influence of a DC electric field on the radio-frequency microdischarge / N.A. Bogatov // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 2. — С. 191-193. — Бібліогр.: 5 назв. — англ.uk_UA
dc.identifier.issn1562-6016
dc.identifier.otherPACS: 52.80.P
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79798
dc.language.isoenuk_UA
dc.publisherНаціональний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofВопросы атомной науки и техники
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectLow temperature plasma and plasma technologiesuk_UA
dc.titleThe influence of a DC electric field on the radio-frequency microdischargeuk_UA
dc.title.alternativeВплив постійного електричного поля на високочастотний мікророзрядuk_UA
dc.title.alternativeИяние постоянного электрического поля на высокочастотный микроразрядuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
128-Bogatov.pdf
Розмір:
163.64 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Вопросы атомной науки и техники, 2005, № 2