Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorПанфилов, Ю.В.
dc.contributor.authorСамойлович, М.И.
dc.contributor.authorБулыгина, Е.В.
dc.date.accessioned2014-01-22T22:01:04Z
dc.date.available2014-01-22T22:01:04Z
dc.date.issued2005
dc.description.abstractРассмотрено влияние методов термического испарения, ионно-плазменного магнетронного распыления и осаждения тонких пленок из ионного пучка на характеристики поверхности фотонных кристаллов.uk_UA
dc.identifier.citationНанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала / Ю.В. Панфилов, М.И. Самойлович, Е.В. Булыгина // Технология и конструирование в электронной аппаратуре.— 2005.— № 2.— С. 49-52.— Бібліогр.: 2 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn2225-5818
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53554
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofТехнология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectТехнологические процессы и оборудованиеuk_UA
dc.titleНанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опалаuk_UA
dc.title.alternativeНанесення тонких плівок у вакуумі на підкладинках з синтетичного опалуuk_UA
dc.title.alternativeThin film deposition on synthetic opal substrateuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
12-Panfilov.pdf
Розмір:
421.17 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2005, № 2