Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorLisovskiy, V.A.
dc.contributor.authorBooth, J.-P.
dc.date.accessioned2016-06-08T10:36:46Z
dc.date.available2016-06-08T10:36:46Z
dc.date.issued2003
dc.identifier.citationSimulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge / V.A. Lisovskiy, J.-P. Booth // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 34-36. — Бібліогр.: 4 назв. — англ.uk_UA
dc.identifier.issn1999-8074
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101836
dc.language.isoenuk_UA
dc.publisherНауковий фізико-технологічний центр МОН та НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofФизическая инженерия поверхности
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.titleSimulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive dischargeuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
05-Lisovskiy.pdf
Розмір:
411.32 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Физическая инженерия поверхности, 2003, №1