Определение толщины слоёв многослойных периодических покрытий методом резерфордовского обратного рассеяния

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorКоломиец, В.Н.
dc.contributor.authorКононенко, И.Н.
dc.contributor.authorКравченко, С.Н.
dc.contributor.authorЗахарец, М.И.
dc.contributor.authorСторижко, В.Е.
dc.contributor.authorВозный, В.И.
dc.contributor.authorБугай, А.Н.
dc.contributor.authorДевизенко, А.Ю.
dc.date.accessioned2017-01-23T17:19:31Z
dc.date.available2017-01-23T17:19:31Z
dc.date.issued2016
dc.description.abstractМетодом резерфордовского обратного рассеяния были определены толщины слоёв кобальта и углерода в многослойном периодическом покрытии [Со/С]₁₀, изготовленном методом магнетронного распыления. Полученные результаты хорошо согласуются (расхождение менее 6%) с толщинами слоёв из моделирования измеренного спектра малоугловой рентгеновской дифракции покрытия.uk_UA
dc.description.abstractМетодою Резерфордового зворотнього розсіяння було визначено товщини шарів кобальту та вуглецю у багатошаровому періодичному покритті [Со/С]₁₀, виготовленому методою магнетронного розпорошення. Одержані результати добре узгоджуються (розбіжність менше 6%) з товщиною шарів за даними моделювання виміряного спектру малокутової рентґенівської дифракції покриття.uk_UA
dc.description.abstractThe periodic multilayer [Со/С]₁₀ coating is deposited by means of the magnetron sputtering. The thicknesses of the cobalt and carbon layers are determined by the Rutherford backscattering (RBS) method. These results are in a good agreement (with divergence less than 6%) with results of simulation of small-angle X-ray diffraction.uk_UA
dc.identifier.citationОпределение толщины слоёв многослойных периодических покрытий методом резерфордовского обратного рассеяния / В.Н. Коломиец, И.Н. Кононенко, С.Н. Кравченко, М.И. Захарец, В.Е. Сторижко, В.И. Возный, А.Н. Бугай, А.Ю. Девизенко // Металлофизика и новейшие технологии. — 2016. — Т. 38, № 6. — С. 815-823. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn1024-1809
dc.identifier.otherPACS: 29.30.Ep, 34.50.-s, 61.05.cf, 61.05.cp, 68.55.J-, 81.15.Cd, 82.80.Yc
dc.identifier.otherDOI: 10.15407/mfint.38.06.0815
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112579
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofМеталлофизика и новейшие технологии
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectВзаимодействия излучения и частиц с конденсированным веществомuk_UA
dc.titleОпределение толщины слоёв многослойных периодических покрытий методом резерфордовского обратного рассеянияuk_UA
dc.title.alternativeВизначення товщини шарів багатошарових періодичних покриттів методом резерфордівського зворотного розсіюванняuk_UA
dc.title.alternativeDetermination of a Thickness of Layers of Multilayer Periodic Coatings by a Method of the Rutherford Backscatteringuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
08-Kolomiyets.pdf
Розмір:
302.9 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Стаття
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Металлофизика и новейшие технологии, 2016, № 06