Упрочнение поверхности изделий сложной геометрической формы в смеси металлического пара и быстрых молекул газа

Abstract

Для синтеза износостойких покрытий на изделиях из проводящих и диэлектрических материалов сложной геометрической формы с выступами и полостями разработан источник потока медленных атомов металла, совмещённого с потоком быстрых молекул газа. При давлении 0,2—0,5 Па смеси аргона и азота (15%) на обрабатываемых изделиях синтезируются нитридные покрытия, бомбардируемые молекулами газа с энергией, регулируемой от нуля до сотен электрон-вольт. Совпадение траекторий атомов металла и быстрых молекул газа от общей эмиссионной сетки до вращающихся в камере изделий обеспечивает непрерывность бомбардировки быстрыми молекулами покрытий, синтезируемых внутри и снаружи полостей, и идентичность их свойств, несмотря на меньшую толщину покрытий внутри полостей.

Для синтезу зносостійких покриттів на виробах з провідних і діелектричних матеріялів складної геометричної форми з виступами та порожнинами розроблено джерело потоку повільних атомів металу, поєднаного з потоком швидких молекул газу. При тискові у 0,2—0,5 Па суміші арґону та азоту (15%) на оброблюваних виробах синтезуються нітридні покриття, бомбардовувані молекулами газу з енергією, реґульованою від нуля до сотень електронвольтів. Збіг траєкторій атомів металу і швидких молекул газу від загальної емісійної сітки до виробів, що обертаються в камері, забезпечують неперервність бомбардування швидкими молекулами покриттів, синтезованих всередині і ззовні порожнин, та ідентичність їх властивостей, незважаючи на меншу товщину покриттів всередині порожнин.

For synthesis of wear-resistant coatings on products from conductive and dielectric materials of complex geometrical shape with flanges and cavities, a source of slow metal-atoms’ flow, which is coincident with a flow of fast gas molecules is developed. At pressure of argon and nitrogen (15%) mixture of 0.2—0.5 Pa, nitride coatings are synthesized on treated products, which are bombarded by gas molecules with energies regulated from zero to hundreds of electronvolts. Coincidence of trajectories of metal-atoms and fast gas molecules from common emission grid to the product rotating in a chamber provides both the continuity of bombardment by fast molecules of coatings, which are synthesized inside and outside of cavities, and the identity of their properties, in spite of smaller thickness of coatings inside of cavities.