Установка для осаждения материалов из газовой фазы

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorКорж, А.Ф.
dc.contributor.authorЛонин, Ю.Ф.
dc.contributor.authorПилипец, Ю.О.
dc.contributor.authorХованский, Н.А.
dc.contributor.authorШеремет, В.И.
dc.contributor.authorШироков, Б.М.
dc.date.accessioned2016-04-17T22:03:27Z
dc.date.available2016-04-17T22:03:27Z
dc.date.issued2007
dc.description.abstractРазработана установка для газофазного осаждения материалов. Выполнена оценка газодинамических параметров потока парогазовой смеси в реакционном объеме при обтекании покрываемой поверхности. Исследованы процессы осаждения вольфрама и карбида бора.uk_UA
dc.description.abstractРозроблена установка для газо фазного осадження матеріалів. Виконано оцінку газодинамічних параметрів потоку пара газової суміші в реакційному об‘ємі при обтіканні покриваючої поверхні. Дослідженні процеси осадження вольф-раму та карбіду бора.uk_UA
dc.description.abstractThe installation for gas-phase deposition of materials is developed. Gas- dynamic parameters of a vapor-gas mixture flow in the reaction volume by fowaround of the surface being coated are evaluated. The processes of tungsten and boron carbide deposition are investigated.uk_UA
dc.identifier.citationУстановка для осаждения материалов из газовой фазы / А.Ф. Корж, Ю.Ф. Лонин, Ю.О. Пилипец, Н.А. Хованский, В.И. Шеремет, Б.М. Широков // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 1-2. — С. 98–100. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn1999-8074
dc.identifier.udc669.094.54:661.87.621:661.668
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98819
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherНауковий фізико-технологічний центр МОН та НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofФизическая инженерия поверхности
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.titleУстановка для осаждения материалов из газовой фазыuk_UA
dc.title.alternativeУстановка для осадження матеріалів із газової фазиuk_UA
dc.title.alternativeInstallation for gas-phase deposition of materialsuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
13-Korsh.pdf
Розмір:
249.5 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Физическая инженерия поверхности, 2007, № 1-2