Спектрофотометрия нормального отражения и брюстеровское отражение от алмазоподобных пленок нитрида углерода CNx и CNx:Euy

Abstract

Методами спектрофотометрии нормального отражения исследованы алмазоподобные углеродные пленки CNx и CNx:Euy. Образцы получены методом ионноплазменного сораспыления композитной углеродной мишени на установке ВУП-5М магнетроном постоянного тока. Измерения отражательной способности поверхности пленок при нормальном падении зондирующего луча и брюстеровского отражения показали, что пленки являются оптически неоднородными по площади и глубине. Наличие ионов европия изменяет характер отражательной способности и приводит к уменьшению значения угла Брюстера.

Методами спектрофотометрії нормального відображення досліджено алмазоподібні вуглецеві плівки CNx і CNx:Euy. Зразки отримано методом іонно-Методами спектрофотометрії нормального відображення досліджено алмазоподібні вуглецеві плівки CNx і CNx:Euy. Зразки отримано методом іонно-плазмового сорозпилення композитної вуглецевої мішені на установці ВУП-5М магнетроном постійного струму. Вимірювання відбивної здатності поверхні плівок при нормальному падінні зондуючого променя й брюстеровське відображення показали, що плівки є оптично неоднорідними за площею й глибиною. Наявність іонів європію змінює характер відбивної здатності й призводить до зменшення значення кута Брюстера.

The present work is aimed at comparative studies by normal reflection spectrophotometry DLC of the diamond-like carbon films grown in nitrogen atmosphere and the films doped by europium oxide.