Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure

Abstract

The results of study of the plasma parameters of radio frequency capacitive discharge with isolated electrodes in atmospheric-pressure argon by means of bremsstrahlung photometry in wavelength range 400…600 nm are presented. Time-averaged spatial distributions of the plasma electron temperature are experimentally obtained for low-current α-and high-current γ-modes of the discharge glow. The comparison of the experimental results with the preliminary data of the discharge computer modeling by a particle-in-cell method is presented.

Наведено результати дослідження параметрів плазми високочастотного ємнісного розряду з ізольованими електродами в аргоні атмосферного тиску методом фотометрії її гальмівного випромінювання в спектральному діапазоні ≈ 400…600 нм. Експериментально отримано усереднені за часом просторові розподіли температури електронів плазми в слабкострумовому α- та сильнострумовому γ-режимах горіння розряду. Представлено порівняння експериментальних результатів з попередніми даними комп’ютерного моделювання розряду методом часток у комірці.

Представлены результаты исследования параметров плазмы высокочастотного емкостного разряда с изолированными электродами в аргоне атмосферного давления методом фотометрии ее тормозного излучения в спектральном диапазоне ≈ 400…600 нм. Экспериментально получены усредненные по времени пространственные распределения температуры электронов плазмы в слаботочном α- и сильноточном γрежимах горения разряда. Представлено сравнение экспериментальных результатов с предварительными данными компьютерного моделирования разряда методом частиц в ячейке.