Вивчення процесу синтезу нанокристалічних плівок двооксиду титану в розряді магнетронного типу за його оптичними та плазмодинамічними характеристиками

dc.contributor.authorГончаров, О.А.
dc.contributor.authorЄвсюков, А.М.
dc.contributor.authorКостін, Є.Г.
dc.contributor.authorФролова, О.К.
dc.date.accessioned2014-02-14T18:41:46Z
dc.date.available2014-02-14T18:41:46Z
dc.date.issued2010
dc.description.abstractНаведено результати експериментального дослiдження плазмодинамiчних i оптичних характеристик цилiндричного газового розряду магнетронного типу в умовах безперервного контролю спектра, випромiнюваного плазмою в дiапазонi 350–820 нм. Визначено умови для синтезу бiнарної сполуки TiО₂, якi забезпечуються пiдтримкою величини iнтенсивностi спектральних лiнiй реагуючих компонентiв i плазмоутворюючого газу. Розглянуто можливiсть контролю умов одержання плiвок TiО₂ як по спектральних характеристиках плазми розряду, так i по змiнi розрядної напруги. Елiпсометричнi дослiдження нанокристалiчних плiвок двооксиду титану показали наявнiсть залежностi показника переломлення вiд товщини плiвки.uk_UA
dc.description.abstractWe present the results of experimental researches of plasmodynamic and optical characteristics of a magnetron-type cylindrical gas discharge. The study was carried out provided a permanent monitoring of the spectrum emitted by plasma in the range 350–820 nm. For the synthesis of binary compound TiO₂, we have determined conditions which can be ensured by a support of the intensity of spectral lines emitted by reacting components and plasma-forming gas. A possibility to control the conditions of the fabrication of a TiO₂ film with the use of both the spectral characteristics of a discharge plasma and a variation of the discharge voltage has been analyzed. Ellipsometric and spectral studies of nanocrystalline titanium dioxide films revealed the dependence of the refractive index of a film on the film thickness.uk_UA
dc.description.abstractПриведены результаты экспериментального исследования плазмодинамических и оптических характеристик цилиндрического газового разряда магнетронного типа в условиях непрерывного контроля спектра, излучаемого плазмой в диапазоне 350–820 нм. Определены условия для синтеза бинарного соединения TiО₂, которые обеспечиваются поддержанием величины интенсивности спектральных линий реагирующих компонент и плазмообразующего газа. Рассмотрена возможность контроля условий получения пленок TiO₂ как по спектральным характеристикам плазмы разряда, так и по изменению разрядного напряжения. Эллипсометрические и спектральные исследования нанокристаллических пленок диоксида титана показали наличие зависимости показателя преломления от толщины пленки.uk_UA
dc.description.sponsorshipЦю роботу було виконано частково за пiдтримки гранту Нацiональної академiї наук України №93/08-Н.uk_UA
dc.identifier.citationВивчення процесу синтезу нанокристалічних плівок двооксиду титану в розряді магнетронного типу за його оптичними та плазмодинамічними характеристиками / О.А. Гончаров, А.М. Євсюков, Є.Г. Костін, О.К. Фролова // Український фізичний журнал. — 2010. — Т. 55, № 6. — С. 677-684. — Бібліогр.: 16 назв. — укр.uk_UA
dc.identifier.issn2071-0194
dc.identifier.otherPACS 52.25.Tx, 52.25.Xz, 52.70.Kz
dc.identifier.udc533.9
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56216
dc.language.isoukuk_UA
dc.publisherВідділення фізики і астрономії НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofУкраїнський фізичний журнал
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectПлазма і газиuk_UA
dc.titleВивчення процесу синтезу нанокристалічних плівок двооксиду титану в розряді магнетронного типу за його оптичними та плазмодинамічними характеристикамиuk_UA
dc.title.alternativeStudy of Nanocrystalline Titanium Dioxide Film Synthesis in a Magnetron-type Discharge by Monitoring Its Optical and Plasmodynamic Characteristicsuk_UA
dc.title.alternativeИзучение процесса синтеза нанокристаллических пленок диоксида титана в разряде магнетронного типа по его оптическим и плазмодинамическим характеристикамuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 2 з 2
Завантаження...
Ескіз
Назва:
04-Goncharov.pdf
Розмір:
659.6 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантаження...
Ескіз
Назва:
04-GoncharovENG.pdf
Розмір:
627.74 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Завантаження...
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис: