Вивчення процесу синтезу нанокристалічних плівок двооксиду титану в розряді магнетронного типу за його оптичними та плазмодинамічними характеристиками
dc.contributor.author | Гончаров, О.А. | |
dc.contributor.author | Євсюков, А.М. | |
dc.contributor.author | Костін, Є.Г. | |
dc.contributor.author | Фролова, О.К. | |
dc.date.accessioned | 2014-02-14T18:41:46Z | |
dc.date.available | 2014-02-14T18:41:46Z | |
dc.date.issued | 2010 | |
dc.description.abstract | Наведено результати експериментального дослiдження плазмодинамiчних i оптичних характеристик цилiндричного газового розряду магнетронного типу в умовах безперервного контролю спектра, випромiнюваного плазмою в дiапазонi 350–820 нм. Визначено умови для синтезу бiнарної сполуки TiО₂, якi забезпечуються пiдтримкою величини iнтенсивностi спектральних лiнiй реагуючих компонентiв i плазмоутворюючого газу. Розглянуто можливiсть контролю умов одержання плiвок TiО₂ як по спектральних характеристиках плазми розряду, так i по змiнi розрядної напруги. Елiпсометричнi дослiдження нанокристалiчних плiвок двооксиду титану показали наявнiсть залежностi показника переломлення вiд товщини плiвки. | uk_UA |
dc.description.abstract | We present the results of experimental researches of plasmodynamic and optical characteristics of a magnetron-type cylindrical gas discharge. The study was carried out provided a permanent monitoring of the spectrum emitted by plasma in the range 350–820 nm. For the synthesis of binary compound TiO₂, we have determined conditions which can be ensured by a support of the intensity of spectral lines emitted by reacting components and plasma-forming gas. A possibility to control the conditions of the fabrication of a TiO₂ film with the use of both the spectral characteristics of a discharge plasma and a variation of the discharge voltage has been analyzed. Ellipsometric and spectral studies of nanocrystalline titanium dioxide films revealed the dependence of the refractive index of a film on the film thickness. | uk_UA |
dc.description.abstract | Приведены результаты экспериментального исследования плазмодинамических и оптических характеристик цилиндрического газового разряда магнетронного типа в условиях непрерывного контроля спектра, излучаемого плазмой в диапазоне 350–820 нм. Определены условия для синтеза бинарного соединения TiО₂, которые обеспечиваются поддержанием величины интенсивности спектральных линий реагирующих компонент и плазмообразующего газа. Рассмотрена возможность контроля условий получения пленок TiO₂ как по спектральным характеристикам плазмы разряда, так и по изменению разрядного напряжения. Эллипсометрические и спектральные исследования нанокристаллических пленок диоксида титана показали наличие зависимости показателя преломления от толщины пленки. | uk_UA |
dc.description.sponsorship | Цю роботу було виконано частково за пiдтримки гранту Нацiональної академiї наук України №93/08-Н. | uk_UA |
dc.identifier.citation | Вивчення процесу синтезу нанокристалічних плівок двооксиду титану в розряді магнетронного типу за його оптичними та плазмодинамічними характеристиками / О.А. Гончаров, А.М. Євсюков, Є.Г. Костін, О.К. Фролова // Український фізичний журнал. — 2010. — Т. 55, № 6. — С. 677-684. — Бібліогр.: 16 назв. — укр. | uk_UA |
dc.identifier.issn | 2071-0194 | |
dc.identifier.other | PACS 52.25.Tx, 52.25.Xz, 52.70.Kz | |
dc.identifier.udc | 533.9 | |
dc.identifier.uri | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56216 | |
dc.language.iso | uk | uk_UA |
dc.publisher | Відділення фізики і астрономії НАН України | uk_UA |
dc.relation.ispartof | Український фізичний журнал | |
dc.status | published earlier | uk_UA |
dc.subject | Плазма і гази | uk_UA |
dc.title | Вивчення процесу синтезу нанокристалічних плівок двооксиду титану в розряді магнетронного типу за його оптичними та плазмодинамічними характеристиками | uk_UA |
dc.title.alternative | Study of Nanocrystalline Titanium Dioxide Film Synthesis in a Magnetron-type Discharge by Monitoring Its Optical and Plasmodynamic Characteristics | uk_UA |
dc.title.alternative | Изучение процесса синтеза нанокристаллических пленок диоксида титана в разряде магнетронного типа по его оптическим и плазмодинамическим характеристикам | uk_UA |
dc.type | Article | uk_UA |
Файли
Оригінальний контейнер
1 - 2 з 2
Завантаження...
- Назва:
- 04-Goncharov.pdf
- Розмір:
- 659.6 KB
- Формат:
- Adobe Portable Document Format
Завантаження...
- Назва:
- 04-GoncharovENG.pdf
- Розмір:
- 627.74 KB
- Формат:
- Adobe Portable Document Format
Контейнер ліцензії
1 - 1 з 1
Завантаження...
- Назва:
- license.txt
- Розмір:
- 817 B
- Формат:
- Item-specific license agreed upon to submission
- Опис: