Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorДудин, С.В.
dc.contributor.authorРафальский, Д.В.
dc.date.accessioned2013-12-29T22:19:03Z
dc.date.available2013-12-29T22:19:03Z
dc.date.issued2009
dc.description.abstractОбнаружено два режима извлечения ионов: пучковый и плазменный, переход между которыми происходит при некотором критическом потенциале плазмы в источнике.uk_UA
dc.identifier.citationЗакономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы / С.В. Дудин, Д.В. Рафальский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 6. — С. 42-45. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn2225-5818
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52330
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofТехнология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectТехнологические процессы и оборудованиеuk_UA
dc.titleЗакономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системыuk_UA
dc.title.alternativeЗакономірності формування пучка іонів низької енергії за допомогою односітчастої іонно-оптичної системиuk_UA
dc.title.alternativePrinciples of low energy ion beam formation in single-grid ion optical systemuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
09-Dudin.pdf
Розмір:
177.56 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2009, № 6