Influence of secondary electron emission on the RF gas breakdown

Abstract

The influence of the electron impact secondary electron emission on the RF gas breakdown has been researched experimentally and theoretically with use of particle-in-sell simulation. The experiments and simulations are conducted in the discharge chamber with asymmetric electrodes which is frequently used in technological applications. As a result, the physical mechanism of secondary electron participation in the RF breakdown has been revealed.

Вивчено вплив вторинної електронної емісії на ВЧ-пробій газу для розрядної камери з асиметричними електродами. Проведено експериментальні дослідження та чисельні розрахунки з використанням методу PIC (particle-in-sell). Пояснений фізичний механізм участі вторинних електронів в ВЧ-пробої газу.

Изучено влияние вторичной электронной эмиссии на ВЧ-пробой газа для разрядной камеры с асимметричными электродами. Проведены экспериментальные исследования и численные расчеты с использованием метода PIC (particle-in-sell). Объяснен физический механизм участия вторичных электронов в ВЧ-пробое газа.