Приборно-технологическое моделирование магниточувствительного сенсора с интегрированным магнитым концентратором

Abstract

Представлены результаты исследования и оптимизации конструктивных и эксплуатационных характеристик на основе результатов приборно-технологического моделирования магнитночувствительного сенсора с интегрированным магнитным концентратором дискообразной формы. Проанализировано влияние геометрических размеров, угла отклонения и используемого материала интегрированного магнитного концентратора на характеристики датчика Холла. Показано, что интеграция концентратора из ферромагнитного материала в конструкцию датчика магнитного поля обеспечивает значительное (до 10 раз) повышение коэффициента усиления магнитного потока, что позволяет применять исследуемые конструкции датчиков для детектирования слабых магнитных полей (от 0,01 мкТл до 2,0 мТл).Представлено результати дослідження та оптимізації конструктивних і експлуатаційних характери стик на основі даних приладово технологічного моделювання магніточутливого сенсора з інтегрованим магнітним концентратором (ІМК) дископодібної форми.The paper presents results on research and optimization on the basis of device-technological modeling of the structural and operational characteristics of the magnetosensitive sensor with a disk-shaped integrated magnetic concentrator (IMC).