Температурная зависимость распределения имплантированных ионов Мо⁺ и W⁺ по глубине в титановом сплаве ВТ-6

Abstract

Проанализировано влияние имплантации ионов металлов W⁺ и Мо⁺ в титановые сплавы ВТ-6 на фазовый состав приповерхностных слоев. Уширение линии α-Ti (101) указывает на тенденцию увеличения деформации кристаллической решетки α-Ti при имплантации тяжелых ионов W⁺ и Мо⁺. Исследована температурная зависимость профилей распределения ионов Мо⁺ и W⁺ в титановом сплаве ВТ-6 при имплантации дозой 5 × 10₁₇см⁻² с энергией 60 кэВ. После отжига при температуре 823 K основные изменения связаны с фазой Al₃Ti. На дифрактограммах наблюдается обособленный пик (111) Al₃Ti.

Проаналізовано вплив імплантації іонів металів W⁺ і Мо⁺ в титанові сплави ВТ-6 на фазовий склад приповерхневих шарів. Розширення лінії α-Ti (101) вказує на тенденцію збільшення деформації кристалічної гратки α-Ti при імплантації важких іонів W⁺ і Мо⁺. Досліджено температурну залежність профілів розподілу іонів Мо⁺ і W⁺ в титановому сплаві ВТ-6 при імплантації дозою 5 × 10₁₇ см⁻² з енергією 60 кеВ. Після відпалювання при температурі 823 K основні зміни пов’язані з фазою Al₃Ti. На дифрактограмах спостерігається відособлений пік (111) Al₃Ti.

The influence of ion implantation of metals W⁺ and Mo⁺ in titanium alloys VT-6 on the phase composition of the surface layers. The broadening of the line α-Ti (101) indicates a trend of increasing deformation of the crystal lattice of α-Ti in the implantation of heavy ions W⁺ and Mo⁺. The temperature dependence of ion distribution profiles Mo⁺ and W⁺ in the titanium alloy VT-6 during implantation dose 5 × 10₁₇ sm⁻² with an energy of 60 keV. After annealing at 823 K the main changes associated with the phase Al₃Ti. The diffraction patterns observed an isolated peak (111) Al₃Ti.