Влияние обработки поверхности и нагрева на высоту потенциального барьера контактов к SiC

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorАгеев, О.А.
dc.contributor.authorСветличный, А.М.
dc.contributor.authorКовалев, Н.А.
dc.contributor.authorРазгонов, Р.Н.
dc.date.accessioned2014-11-15T10:49:39Z
dc.date.available2014-11-15T10:49:39Z
dc.date.issued2001
dc.description.abstractПроведен обзор работ, в которых исследовались контактные системы на карбиде кремния. Рассмотрено влияние различных факторов на выпрямляющие свойства контактов, а именно, влияние предварительной обработки поверхности образца до нанесения металла и термообработки сформированной системы "металл—карбид кремния" на высоту барьера. Проведен анализ экспериментальных данных.uk_UA
dc.identifier.citationВлияние обработки поверхности и нагрева на высоту потенциального барьера контактов к SiC / О.А. Агеев, А.М. Светличный, Н.А. Ковалев, Р.Н. Разгонов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 37-41. — Бібліогр.: 24 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn2225-5818
dc.identifier.udc621.315.592
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70839
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofТехнология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectТехнология производстваuk_UA
dc.titleВлияние обработки поверхности и нагрева на высоту потенциального барьера контактов к SiCuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
07-Ageev.pdf
Розмір:
219.67 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2001, № 2