Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorВоронин, В.А.
dc.contributor.authorГуба, С.К.
dc.contributor.authorСиверс, В.Н.
dc.date.accessioned2014-01-10T00:26:54Z
dc.date.available2014-01-10T00:26:54Z
dc.date.issued2006
dc.description.abstractРешение полученных уравнений для конкретных систем и реакторов позволяет определить неравновесные концентрации компонентов как функцию координат и времени в объеме реактора.uk_UA
dc.identifier.citationОбобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии / В.А. Воронин, С.К. Губа, В.Н. Сиверс // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 3. — С. 50-55. — Бібліогр.: 23 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn2225-5818
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52920
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofТехнология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectТехнологические процессы и оборудованиеuk_UA
dc.titleОбобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксииuk_UA
dc.title.alternativeУзагальнений теоретичний підхід до аналізу газофазних процесів эпітаксіїuk_UA
dc.title.alternativeCommon theoretical approach to the gas phase epitaxy processesuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
12-Voronin.pdf
Розмір:
117.85 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2006, № 3