Особенности структуры поверхностных нанослоев пленок железоиттриевых гранатов

Abstract

C помощью методов резерфордовского обратного рассеяния, мессбауэровской спетроскопии конверсионных электронов и измерения прозрачности исследована структура поверхностных нанослоев при их формированиии, термическом отжиге и имплантации.За допомогою методів резерфордівського зворотнього розсіяння, мессбауерівської спетроскопії конверсійних електронів і виміру прозорості досліджена структура поверхневих наношарів при їх формуванні, термічному відпалі та імплантації.In this paper, using the methods of Rutherford backscattering, Mossbauer spectroscopy and transparency measurements the structure of the surface nanolayers at their formation, thermal annealing and implantation was studied.