Методи очистки поверхні кристалів алмазу

Abstract

Визначено методи поетапної очистки монокристалів алмазу від поверхневого забруднення. Основні етапи обробки полягають у хімічній очистці поверхні, іонному травленні та очистці ультразвуком. Дані методи забезпечили повну очистку поверхні монокристалів алмазу.

Определены методы поэтапной очистки монокристаллов алмаза от поверхностного загрязнения. Основные этапы обработки заключаются в химической очистке поверхности, ионном травлении и очистке ультразвуком. Данные методы обеспечили полную очистку поверхности монокристаллов алмаза.

Methods of step-by-step cleaning of contamination from diamond single crystals surfaces have been developed. The main stages of the cleaning: chemical cleaning of the surface, ion etching, and ultrasound cleaning have been discussed. It has been shown that these methods offer a complete cleaning the surfaces of diamond single crystals.