Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorДружинин, А.A.
dc.contributor.authorГолота, В.И.
dc.contributor.authorКогут, И.Т.
dc.date.accessioned2014-01-08T19:03:41Z
dc.date.available2014-01-08T19:03:41Z
dc.date.issued2007
dc.description.abstractПредложен практический способ формирования элементов субмикронных размеров с использованием совмещения с базовыми знаками стандартной проекционной литографии, предварительно созданными на этапе "нулевой" фотолитографии.uk_UA
dc.identifier.citationТехнология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров / А.A. Дружинин, В.И. Голота, И.Т. Когут // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 5. — С. 50-53. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn2225-5818
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52878
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofТехнология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectТехнологические процессы и оборудованиеuk_UA
dc.titleТехнология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеровuk_UA
dc.title.alternativeТехнологія виготовлення автоемісійних кремнієвих катодів субмікронних розмірівuk_UA
dc.title.alternativeThe preparation technology of field emission silicon cathodeuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
12-Druzhinin.pdf
Розмір:
149.11 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2007, № 5